前瞻技术：

固态激光雷达

1.基本原理

分为：外部光源、OPA 光子相位阵列列、分路器、光波导、移相器、光发射天线阵列

其测距原理均不使用FOT时间飞行法，采用相干法

2.关键技术

光路调相机制：PIN调相 ，切换速度快；热光子器件调相，切换速度慢，成熟

硅基光子器件：硅基光敏器件（接收，成熟），硅基激光发射器件（发射，不成熟）

光天线：普遍采用波导光栅

光路制备工艺：普遍采用SOI工艺

3.光路调相

光路调相有两种技术：热光子环和PIN二级管，本质上都是增加光路时延。

PIN 调相(CALTECH)

热光子开关（MIT）

4.器件

光器件是基于SiGe工艺，接收管可以和SOI工艺兼容。激光管不行。器件看这篇：

专栏作家斛律哥：摩尔定律的黄昏，自动驾驶的黎明：站在时代肩膀上的光电半导体zhuanlan.zhihu.com硅锗工艺制备的光敏二极管（UCSB），用于接收进行波导到光栅的转换利用衍射效应，通过光栅将光子发射出去

硅基芯片上普遍使用的是Focusing gating coupler（聚焦光栅耦合器），发射天线

5.工艺

典型的光栅制作工艺：

1.紫外光刻

2.感应耦合等离子体蚀刻

3.光栅体蚀刻深度70nm深

4. 使用Si3N4制作光波导

5.使用SiGe工艺制作光敏二极管，用于接收